Yaskawa XU-RCM2500T-4机器人手臂模块：Nikon光检系统的精密搬运手

这款XU-RCM2500T-4是安川电机为Nikon定制的机器人手臂模块，专门用在Nikon OPTISTATION 7 200mm晶圆自动检测系统里，负责晶圆的取放和传输。安川的机器人以精度高、速度快出名，这款模块在半导体检测设备里扮演着关键角色。

五个核心特点：

1、专为晶圆检测设计，用在Nikon OPTISTATION 7系统，负责200mm晶圆自动化搬运。

2、带陶瓷手臂，陶瓷材质耐磨、重量轻、热膨胀小，适合精密搬运。

3、精度高，安川在运动控制这块是行家，重复定位精准，能把晶圆稳稳放到检测工位。

4、洁净设计，符合半导体检测设备的洁净要求，不污染晶圆表面。

5、安川原厂制造，可靠性有保障，技术成熟。

五个关键参数：

1、零件号XU-RCM2500T-4，安川为Nikon定制的专用型号。

2、用在Nikon OPTISTATION 7 200mm晶圆自动检测系统。

3、配备Nikon原厂陶瓷手臂。

4、主控部分零件号KAB11320/201A-4或201A-3。

5、二手市场多见，是从设备上拆下来的功能备件。

五个典型应用：

1、Nikon OPTISTATION 7晶圆检测系统中的晶圆搬运。

2、半导体检测设备的自动上下料。

3、200mm晶圆在检测工位间的传输和定位。

4、半导体设备维护中的备件更换。

5、晶圆检测产线的日常维保备件。

安川这款XU-RCM2500T-4，是Nikon晶圆检测系统里负责搬运的可靠角色。带着陶瓷手臂把晶圆稳稳当当来回运送，对于维护OPTISTATION 7的朋友来说，这款模块是核心备件之一。