wafer robot-晶圆机器人又名防水圆柱坐标型晶圆机械手臂

wafer robot-晶圆机器人10个特点：

1.在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆

2.机器人手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

3.手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

4.零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

5.Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

6.配备动作监视器

7.控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

8.全轴采用2相步进电机

9.S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

10.晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式

代表产品型号：

SWCR3160CS-200-PM       升降轴最大行程：200mm

SWCR3160CS-300-PM       升降轴最大行程：300mm